R & D TEP-XD 용 데스크탑 유형
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개요
- TEP-01X의 개념을 유지하면서 데스크탑 크기를 달성하는 저렴한 모델
- 플라즈마 미세 가공 장치 실험실 소개 기계 또는 잠수함으로 사용하기에 이상적
- 가공시 탁상용 드릴 프레스 또는 탁상 선반처럼 사용할 수 있습니다
에칭의 예
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Titanium
라인 : 30μm 공간 : 30μm 높이 : 8μm
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Quartz
라인 : 50μm 깊이 : 12μm
사양
귀하의 요청 및 예산에 따라 사용자 정의하십시오.
표준 사양
| 플라즈마 생성 방법 | Magnetron 유형 (자기장 보조 유형, 용량 성 커플 링 방법) |
|---|---|
| 챔버 내부 치수 | φ123mm x h75mm (상단 뚜껑 : 석영 제작) |
| 처리 가능한 보드 크기 | 최대 φ50mm (2 인치) |
| 스테이지 냉각 | 강제 공기 냉각 방법 |
| 메인 밸브 | 터보 분자 펌프 (50L/sec) |
| 고주파 전원 공급 장치 | 13.56MHz / max.100W (수동 일치 방법) |
| 프로세스 가스 소개 제어 | 정밀 바늘 밸브가있는 플로트 타입 유량계 표준 2 줄 (1 라인을 추가 할 수 있음) |
| 진공 게이지 | Pirani 진공 게이지, 커패시턴스 압력계 |
| 작동 방법 | 매뉴얼 작동 |
| 외부 치수 | 560W X 465D X 620H (핸들과 같은 돌출 제외) |
| weight | 약. 60kg |
| 선택 사항 |
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|---|
*우리는 또한 다른 문의를 수용 할 것입니다.
필수 전력
| 공급 전력 | AC 110V ± 10% 1φ 6.5A Type D Ground |
|---|---|
| AIR | 공급 압력 : 0.3mpa 이상 |
| 가스 | 공정 가스/퍼지 가스 공급 압력 : 0.1mpa 이상 |
| 배기 덕트 | 보조 배기 펌프 용 |
*우리는 또한 다른 문의를 수용 할 것입니다.
